高精度激光测振儀,激光纳米测振儀和微量振動测量儀

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高精度激光测振儀是采纳迈克尔逊干與儀技能的激光纳米测振儀和微量振動丈量儀,单點丈量辨别率高达亚pm,成像模式辨别率高达0.1nm,扫描辨别率高达1nm,还能给出1Hz至2.5MHz的FFT频谱和2.5MHz如下的曲折振動模态be痔瘡藥,nding modes。
高精度激光测振儀周全知足日趋刻薄的研發和品格节制必要和對MEMS微電機体系的需求,经由過程在样品上用迈克尔包皮矯正神器,逊干與儀的聚焦激光束举行光栅扫描来實現，對微量振動举行百万像素微觀布局振動成像,丈量显微圖象中每一個像素的振動。

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高精度激光测振儀配有压電養顏茶, 式样品振動器和数字锁定放大器,用于丈量振動的振幅和相位，从中可以重修2.5MHz如下的曲折模态bending modes。

高精度激光测振儀特點：